每一個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)一定要根據(jù)自身產(chǎn)品的技術(shù)特點(diǎn)，集中研發(fā)適合于自身企業(yè)發(fā)展特點(diǎn)的半導(dǎo)體設(shè)備，才能逐步從根本上解決我國電子工業(yè)基礎(chǔ)落后的局面。

    “摩爾定律”為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了加速度，在整個(gè)產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展的同時(shí)，對其進(jìn)行支撐的設(shè)備制造業(yè)也需要通過不斷創(chuàng)新、加快研究進(jìn)程來滿足整個(gè)產(chǎn)業(yè)的需求。

    設(shè)備創(chuàng)新帶動(dòng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展 

    半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展本身就是技術(shù)創(chuàng)新的過程，IC產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，其背后是以設(shè)備的創(chuàng)新和發(fā)展做支撐的，新的工藝技術(shù)總是用新一代設(shè)備實(shí)現(xiàn)的。 

    開發(fā)新產(chǎn)品適應(yīng)市場的需求是每個(gè)企業(yè)必須考慮的問題，半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)也不例外。北京京聯(lián)發(fā)數(shù)控科技有限公司董事長秦建國表示，半導(dǎo)體設(shè)備創(chuàng)新可以為用戶提高生產(chǎn)能力和產(chǎn)品質(zhì)量，降低產(chǎn)品成本。這樣的創(chuàng)新產(chǎn)品會(huì)給企業(yè)及用戶雙方帶來更好的效益。為了開發(fā)新的產(chǎn)品要不斷地吸收高科技人才，對該行業(yè)的產(chǎn)品生產(chǎn)要有充分的認(rèn)識，對該行業(yè)的發(fā)展方向要不斷地了解情況，以便設(shè)備企業(yè)能跟上國內(nèi)外半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，更快更好地為市場提供優(yōu)質(zhì)的設(shè)備。 

    中電科技集團(tuán)第四十五所技術(shù)工程部主任張續(xù)業(yè)告訴記者，國內(nèi)從事半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)制造的企業(yè)如果沒有創(chuàng)新，面對國內(nèi)外的大市場，就肯定沒有可持續(xù)發(fā)展的后勁，就不會(huì)有美好的明天和很好的經(jīng)濟(jì)效益，更不會(huì)從根本上解決我國電子工業(yè)基礎(chǔ)落后的局面，就會(huì)永遠(yuǎn)跟在國際先進(jìn)技術(shù)后面無法超越。因此，每一個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)一定要根據(jù)自身產(chǎn)品的技術(shù)特點(diǎn)，集中研發(fā)適合于自身企業(yè)發(fā)展特點(diǎn)的半導(dǎo)體設(shè)備，困難再大也要堅(jiān)持下去，只有這樣，才能逐步從根本上解決我國電子工業(yè)基礎(chǔ)落后的局面。當(dāng)然，在某些外部環(huán)境上還得尋求國家有關(guān)部委的政策性支持。 

    北京京運(yùn)通科技有限公司副總經(jīng)理王軍在接受記者采訪時(shí)表示，沒有創(chuàng)新就沒有生命力。我國半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)本身就落后于其他發(fā)達(dá)國家，所以企業(yè)創(chuàng)新能力也就是國家在該領(lǐng)域趕超其他國家的重要力量；其次，在技術(shù)飛速發(fā)展的信息社會(huì)，旺盛的創(chuàng)新能力是企業(yè)健康發(fā)展、產(chǎn)品滿足市場的重要因素。 

    設(shè)備商應(yīng)緊密聯(lián)系用戶 

    半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)更新很快，設(shè)備廠商必須與用戶緊密聯(lián)系、合作，才能急客戶之所急，才能不斷推出客戶需要的產(chǎn)品，并在使用中不斷完善提高。 

    張續(xù)業(yè)告訴記者，從45所幾十年的發(fā)展過程來看，雖然在樣機(jī)研發(fā)、基礎(chǔ)預(yù)研等方面填補(bǔ)了多項(xiàng)國家空白，為國家做出了相當(dāng)大的貢獻(xiàn),但要進(jìn)入大生產(chǎn)線尚需一定的時(shí)間。主要原因是我國的基礎(chǔ)工業(yè)和配套能力與國外公司相比，差距太大，這是一個(gè)解決起來非常困難的系統(tǒng)工程，還需國內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈上下端的企業(yè)共同做出艱辛努力，才能達(dá)到預(yù)期的目的。這是一條充滿艱辛的道路，但也是一條必由之路。 

    用戶對半導(dǎo)體設(shè)備的要求是提高自動(dòng)化，提高設(shè)備的精度，把半導(dǎo)體設(shè)備制造得更好更完善需要更高的技術(shù)及資金，兩方面缺一不可。秦建國表示，目前市場上半導(dǎo)體設(shè)備的競爭越演越烈，不斷投入人力、財(cái)力、物力去研發(fā)新產(chǎn)品會(huì)使制造企業(yè)不斷發(fā)展和壯大。國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)跟上市場的發(fā)展，不斷為市場提供高性能的設(shè)備，不斷研究半導(dǎo)體的發(fā)展方向，開發(fā)和研制新的設(shè)備，把企業(yè)制造的設(shè)備推向國際市場。 

    設(shè)備廠商必須具備工藝研究和實(shí)驗(yàn)檢測的能力，而在國內(nèi)傳統(tǒng)的研發(fā)體系下，引進(jìn)與消化吸收是不同的主體，是完全割裂的，設(shè)備研制者不關(guān)注工藝研究，缺少或不具備必要的實(shí)驗(yàn)檢測環(huán)節(jié)。沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司總經(jīng)理宗潤福表示，在這種情況下，國內(nèi)設(shè)備要進(jìn)入大生產(chǎn)線還要假以時(shí)日。他說，很多人意識到國內(nèi)設(shè)備進(jìn)入大生產(chǎn)線還需哪些努力時(shí)的第一反應(yīng)可能是呼吁國家政策扶持、傾斜，用戶給機(jī)會(huì)。扶持傾斜也只能是針對首臺(tái)套，要批量生產(chǎn)并產(chǎn)業(yè)化必須具備市場競爭力。他主張循序漸進(jìn)，技術(shù)跨度不能太大，穩(wěn)定壓倒一切。只有產(chǎn)品穩(wěn)定了，用戶才放心，對廠商才有信心，廠商才能有下一個(gè)機(jī)會(huì)、下一個(gè)訂單。 

    京運(yùn)通副總經(jīng)理王軍強(qiáng)調(diào)說，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)入大生產(chǎn)線需要很長的一個(gè)過程。首先產(chǎn)品技術(shù)要升級，我國的半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)無論自動(dòng)化程度、精細(xì)化程度還是節(jié)能水平,都還很落后;其次是產(chǎn)品定位要準(zhǔn)確，要對適合大多數(shù)生產(chǎn)需要的產(chǎn)品進(jìn)行定位；最后是整合制造設(shè)備新工藝，形成基本上自動(dòng)化的制造工藝。當(dāng)然，完善相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的工作也要跟進(jìn)。