芯片強(qiáng)則產(chǎn)業(yè)強(qiáng)，芯片興則經(jīng)濟(jì)興，沒有芯片就沒有安全。

作為高端制造業(yè)的“皇冠明珠”，芯片即集成電路，是衡量一個(gè)國家綜合實(shí)力的重要標(biāo)志之一，是信息產(chǎn)業(yè)的核心。曾經(jīng)，我國集成電路高端裝備和材料基本處于空白狀態(tài)，完全依賴進(jìn)口。如今，2萬多名科技工作者歷經(jīng)9年攻關(guān)，國家科技重大專項(xiàng)成功打造集成電路制造業(yè)創(chuàng)新體系，引領(lǐng)和支撐我國集成電路產(chǎn)業(yè)快速崛起，輻射帶動(dòng)了LED和光伏產(chǎn)業(yè)世界領(lǐng)先。

5月23日，國家科技部會(huì)同北京市和上海市人民政府組織召開了國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”(簡稱集成電路專項(xiàng))成果發(fā)布會(huì)，宣布國家科技重大專項(xiàng)打造集成電路制造創(chuàng)新體系的階段性目標(biāo)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)。

主流工藝水平提升5代高端裝備和材料從無到有

科技部重大專項(xiàng)辦公室主任陳傳宏介紹，集成電路芯片是信息時(shí)代的基石，集成電路制造技術(shù)代表著當(dāng)今世界微細(xì)制造的最高水平。專項(xiàng)技術(shù)總師葉甜春將集成電路比喻為現(xiàn)代工業(yè)的“糧食”，汽車、工業(yè)控制等各種電子產(chǎn)品和系統(tǒng)都離不開集成電路。沒有集成電路產(chǎn)業(yè)支撐，信息社會(huì)就失去了根基。

在先進(jìn)制造裝備、材料和工藝引進(jìn)等方面，我國集成電路產(chǎn)業(yè)長期以來受到西方的種種限制，高端芯片主要依賴進(jìn)口。我國集成電路產(chǎn)品從2006年開始超過石油成為我國最大宗進(jìn)口產(chǎn)品，2013年至今每年進(jìn)口額超過2000億美元。

為實(shí)現(xiàn)自主創(chuàng)新發(fā)展，2008年國務(wù)院批準(zhǔn)實(shí)施集成電路專項(xiàng)，主攻裝備、工藝和材料的自主創(chuàng)新。陳傳宏介紹，該專項(xiàng)由北京市和上海市人民政府牽頭組織實(shí)施。共有200多家企事業(yè)單位、2萬多名科學(xué)工作者參與技術(shù)攻關(guān)，集中在北京、上海、江蘇、沈陽、深圳和武漢等6個(gè)產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)。

“經(jīng)過9年攻關(guān)，我國已研制成功14納米刻蝕機(jī)、薄膜沉積等30多種高端裝備和靶材、拋光液等上百種材料產(chǎn)品，性能達(dá)到國際先進(jìn)水平?！比~甜春介紹，這些產(chǎn)品通過大生產(chǎn)線的嚴(yán)格考核，開始批量應(yīng)用并出口到海外，從而實(shí)現(xiàn)了從無到有的突破，使我國集成電路制造技術(shù)體系和產(chǎn)業(yè)生態(tài)得以建立和完善。

而在專項(xiàng)實(shí)施前，國內(nèi)集成電路制造最先進(jìn)的量產(chǎn)工藝為130納米，研發(fā)工藝為90納米。9年來，我國主流工藝水平提升了5代，55、40、28納米三代成套工藝研發(fā)成功并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，22、14納米先導(dǎo)技術(shù)研發(fā)取得突破，形成了自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。封裝企業(yè)也從低端進(jìn)入高端，三維高密度集成技術(shù)達(dá)到了國際先進(jìn)水平。這些工藝制造的智能手機(jī)、通訊設(shè)備、智能卡等芯片產(chǎn)品大批量進(jìn)入市場，提高了我國信息產(chǎn)業(yè)的競爭力。

形成自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系支撐企業(yè)參與國際競爭

缺乏自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)一直是制約我國集成電路企業(yè)自主創(chuàng)新發(fā)展的瓶頸問題。葉甜春表示，培育自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系是科技重大專項(xiàng)組織實(shí)施的重中之重。專項(xiàng)提出了“專利導(dǎo)向下的研發(fā)戰(zhàn)略”，實(shí)施9年來共申請(qǐng)了2.3萬余項(xiàng)國內(nèi)發(fā)明專利和2000多項(xiàng)國際發(fā)明專利，所形成的知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系使國內(nèi)企業(yè)在國際競爭中的實(shí)力和地位發(fā)生了巨大變化，發(fā)展模式也從“引進(jìn)消化吸收再創(chuàng)新”轉(zhuǎn)變?yōu)椤白灾餮邪l(fā)為主加國際合作”的新模式。

我國集成電路產(chǎn)業(yè)近幾年蓬勃發(fā)展，重大專項(xiàng)發(fā)揮了顯著的創(chuàng)新引領(lǐng)和技術(shù)支撐作用。上海市科委總工程師傅國慶表示，集成電路裝備既是信息產(chǎn)業(yè)的核心支撐技術(shù)，又是制造業(yè)的領(lǐng)先高端技術(shù)，是兩個(gè)產(chǎn)業(yè)的交叉戰(zhàn)略制高點(diǎn)。集成電路裝備對(duì)配套產(chǎn)業(yè)的技術(shù)要求很高，它的發(fā)展帶動(dòng)了我國精密加工能力、表面處理能力、基礎(chǔ)材料、基礎(chǔ)工藝、基礎(chǔ)零部件等水平的提升，推動(dòng)我國制造業(yè)向高端發(fā)展。

據(jù)了解，利用專項(xiàng)取得的核心技術(shù)，輻射應(yīng)用到LED、傳感器、光伏、液晶面板等泛半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，使我國相關(guān)領(lǐng)域裝備國產(chǎn)化率大幅提升。國內(nèi)企業(yè)應(yīng)用專項(xiàng)的高端成果研制出了成套的LED和光伏制造裝備，使得我國LED和光伏等泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)綜合競爭力大幅躍升，投資成本顯著降低，產(chǎn)業(yè)規(guī)模和技術(shù)水平實(shí)現(xiàn)了國際領(lǐng)先。

專項(xiàng)布局產(chǎn)業(yè)規(guī)劃形成市場優(yōu)勢

集成電路專項(xiàng)以培育真正可用產(chǎn)品、做大做強(qiáng)企業(yè)為目標(biāo)，進(jìn)行了組織實(shí)施的機(jī)制體制創(chuàng)新。北京市經(jīng)信委主任張伯旭介紹，“下游考核上游，整機(jī)考核部件，應(yīng)用考核技術(shù)，市場考核產(chǎn)品”的考核制，保證了科研成果的實(shí)用性，成就了一大批經(jīng)得起市場檢驗(yàn)的高端產(chǎn)品。

采取產(chǎn)業(yè)鏈、創(chuàng)新鏈、金融鏈有效協(xié)同的新模式，專項(xiàng)與重點(diǎn)區(qū)域產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃協(xié)同布局，主動(dòng)引導(dǎo)地方和社會(huì)的產(chǎn)業(yè)投資跟進(jìn)支持，有效推動(dòng)了專項(xiàng)成果產(chǎn)業(yè)化，扶植企業(yè)做大做強(qiáng)，形成產(chǎn)業(yè)規(guī)模，提高整體產(chǎn)業(yè)實(shí)力。

傅國慶表示，面向2020年，專項(xiàng)將圍繞傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)升級(jí)和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需求組織攻關(guān)，推動(dòng)創(chuàng)新成果的規(guī)?；瘧?yīng)用，培育具有國際競爭力的產(chǎn)業(yè)集群。

葉甜春介紹，專項(xiàng)已在14納米裝備、工藝、封裝、材料等方面進(jìn)行了系統(tǒng)部署，預(yù)計(jì)到2018年將全面進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化。“十三五”還將重點(diǎn)支持7—5納米工藝和三維存儲(chǔ)器等國際先進(jìn)技術(shù)的研發(fā)，支持中國企業(yè)在全球產(chǎn)業(yè)鏈中擁有核心競爭力，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展，形成特色優(yōu)勢。