傳感器設(shè)備集成了越來(lái)越多的數(shù)字化電路和接口。一些控制領(lǐng)域的應(yīng)用，要求很多不同的輸入以及多變量的處理。這些復(fù)雜的要求只有數(shù)字電路應(yīng)付得過(guò)來(lái)。然而，在另一些應(yīng)用中，模擬依舊占主導(dǎo)地位。

    傳感器提供了數(shù)字輸出信號(hào)，這需要內(nèi)部具備集成的電路，如ADC以及串行器。因?yàn)橹圃旆绞较嗤�，所需材料相同，基于MEMS的傳感器非常適合數(shù)字化。

    歐洲MeasurementSpecialties的首席執(zhí)行官FrankGuidone解釋?zhuān)�“MEMS與集成電路的結(jié)合，可以使工業(yè)解決方案的設(shè)計(jì)摒棄那些需要復(fù)雜信號(hào)處理的傳統(tǒng)技術(shù)�！�

    最近在德國(guó)紐倫堡進(jìn)行的Test+Sensor貿(mào)易展覽中，該公司展示了一款基于MEMS的潤(rùn)滑劑油質(zhì)傳感器。該設(shè)備包括了一個(gè)MEMS音叉，可以同時(shí)測(cè)量潤(rùn)滑劑的不同指標(biāo)，如粘度、密度、介電常數(shù)以及溫度等。綜合這些指標(biāo)，該設(shè)備可以一分鐘內(nèi)檢測(cè)出潤(rùn)滑劑的降解。

    在一些重型卡車(chē)上，這樣的傳感器可以用于離線(xiàn)油質(zhì)分析，并通知卡車(chē)的操作員何時(shí)需要換油。Guidone稱(chēng)，“在現(xiàn)今油價(jià)持續(xù)高位的形勢(shì)下，這將能取得很好的經(jīng)濟(jì)效益。”

    ADI公司(AnalogDevicesInc.)也將MEMS傳感器與集成電路相結(jié)合，開(kāi)發(fā)出一款A(yù)DSL001工業(yè)振動(dòng)和沖擊傳感器。

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