高純硅烷被日美掌控    

    南京亞格泰新能源材料有限公司董事長陳關(guān)夫告訴記者，集成電路是微電子技術(shù)的核心，而硅烷、尤其是高純硅烷，已成為制約集成電路可靠性和成品率的重要因素。隨著電子信息技術(shù)的飛速發(fā)展，集成度越來越高，硅烷的純度要求達到6N級（99.9999%）及以上。    

    據(jù)光明化工研究設(shè)計院總工程師孫福楠介紹，液晶顯示器、太陽能電池、半導體是硅烷的三大主要應用領(lǐng)域，此外還有少量用于生產(chǎn)感光材料。硅烷是特種氣體中的老大，它是一個國家氣體產(chǎn)業(yè)是否先進的重要標志。

    談到目前國內(nèi)市場時，浙江大學余京松教授指出，由于不具備規(guī)模化的硅烷生產(chǎn)能力，國內(nèi)高純硅烷市場幾乎被日本、美國等發(fā)達國家所壟斷，使國內(nèi)非晶硅太陽能電池和高效節(jié)能玻璃行業(yè)發(fā)展受到極大影響。2008年暴發(fā)的金融危機帶給國內(nèi)企業(yè)一個教訓：    

    引進技術(shù)難以開花結(jié)果    

    據(jù)余京松教授介紹，從1987年開始，我國就著手引進國外先進技術(shù)來提高我國高純硅及高純硅烷的生產(chǎn)能力，但至今還沒有成功引進國外技術(shù)的案例。    

    目前國際上生產(chǎn)硅烷的方法主要有日本小松電子法（硅化鎂法）、氫化鋰還原三氯氫硅法、美國MEMC公司專有的氫化鋁鈉還原四氟化硅法和UCC法（氯硅烷經(jīng)氫化和二次歧化反應)。這些技術(shù)在引進過程中會往往面臨諸多問題。

    除此之外，余京松認為，引進國外技術(shù)除了意味著要引進全套的生產(chǎn)設(shè)備，還要被迫引進關(guān)鍵的生產(chǎn)原料和催化劑。關(guān)鍵原料控制在別人手里,很難發(fā)展獨立自主的電子工業(yè)。    

    硅烷國產(chǎn)化初戰(zhàn)告捷     

    2010年是中國電子氣體鳳凰涅磐的一年，經(jīng)歷了近三十年的艱苦磨練，終于在2010年發(fā)生了質(zhì)變。孫福楠預言，我國硅烷市場由發(fā)達國家完全壟斷的局面將被打破。     

    2008年的金融危機為硅烷國產(chǎn)化技術(shù)的發(fā)展提供了機遇。受金融危機影響，進口硅烷價格飛漲，面對引進國外技術(shù)的碰壁和硅烷價格的飛漲，國內(nèi)企業(yè)開始嘗試利用國產(chǎn)技術(shù)生產(chǎn)硅烷。

   早在1967年，浙江大學就通過硅化鎂法成功制備了硅烷，擁有獨立自主的知識產(chǎn)權(quán)。南京華特硅材料有限公司首先獲得了質(zhì)量不錯的產(chǎn)品，緊接著，南京亞格泰新能源材料有限公司、安徽滁州市硅谷特種氣體有限公司、浙江賽林硅業(yè)有限公司和浙江金華美晶硅電子有限公司的硅烷裝置也陸續(xù)投產(chǎn)。這5家企業(yè)硅烷年產(chǎn)能為80～120噸，產(chǎn)能雖然不大，但硅烷企業(yè)如雨后春筍般涌現(xiàn)的可喜局面為業(yè)界帶來了信心。     

    記者了解到，截至目前，除了上述幾家企業(yè)已經(jīng)投產(chǎn)外，浙江中福硅能有限公司、浙江中寧硅業(yè)有限公司一期工程和英利“六九硅業(yè)”等大型項目正在建設(shè)中，一旦這3家企業(yè)建成投產(chǎn)，我國硅烷年產(chǎn)能將突破4000噸。     

    跨行業(yè)合作做大做強     

    對于硅烷國產(chǎn)化之路的發(fā)展，與會代表提出了各種建議。陳關(guān)夫認為，國產(chǎn)硅烷做大做強還有很長一段路要走，發(fā)達國家憑技術(shù)優(yōu)勢對硅烷實行打包銷售和貼牌銷售，導致國內(nèi)企業(yè)除了買他們的硅烷之外，還必須買他們精密的鋼瓶、閥門等設(shè)備。     

    他認為，我國硅烷產(chǎn)業(yè)要有所突破，除了要開發(fā)生產(chǎn)技術(shù)之外，容器設(shè)備的制造技術(shù)也要跟上。另外，政府在政策上應加大對國產(chǎn)硅烷開發(fā)的支持力度。上海浦江特種氣體有限公司的專家建議，可以參考發(fā)達國家的做法，跨行業(yè)間加強配合，氣體的純化、檢測、充裝、物流等各細分行業(yè)積極支持，降低產(chǎn)品的成本。另外，同行業(yè)間應各取所長，避免無序競爭。 

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