高純?yōu)R射靶材是伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展而興起的，集成電路產(chǎn)業(yè)成為目前高純?yōu)R射靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一。隨著信息技術(shù)的飛速發(fā)展，要求集成電路的越來越高，電路中單元器件尺寸不斷縮小，元件尺寸由毫米級到微米級，再到納米級。
高純?yōu)R射靶材是伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展而興起的，集成電路產(chǎn)業(yè)成為目前高純?yōu)R射靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一。隨著信息技術(shù)的飛速發(fā)展，要求集成電路的越來越高，電路中單元器件尺寸不斷縮小，元件尺寸由毫米級到微米級，再到納米級。每個單元器件內(nèi)部由襯底、絕緣層、介質(zhì)層、導(dǎo)體層及保護(hù)層等組成，其中，介質(zhì)層、導(dǎo)體層甚至保護(hù)層都要用到濺射鍍膜工藝，因此濺射靶材是制備集成電路的核心材料之一。
靶材純度很高，一般在5N(99.999%)以上。因此半導(dǎo)體鍍膜用靶材價格昂貴。半導(dǎo)體靶材主要在晶圓制造和封裝測試過程中使用。
全球半導(dǎo)體靶材市場規(guī)模
2013-2016年間，全球半導(dǎo)體靶材市場規(guī)模整體波動不大，分別為11.4億美元、11.7億美元、11.6億美元和11.7億美元。2017年和2018年市場規(guī)模增長加速，分別增長為為12.4億美元和13.7億美元，增速分別為5.6%和10.5%。2020年全球半導(dǎo)體靶材市場規(guī)模將達(dá)15.67億美元。全球半導(dǎo)體靶材市場規(guī)模與全球半導(dǎo)體材料市場規(guī)模變化趨勢相近。預(yù)計未來幾年半導(dǎo)體靶材市場整體穩(wěn)定，仍將保持中速增長，在2020年市場規(guī)模達(dá)15.67億美元。
中國半導(dǎo)體靶材市場增速明顯
中國半導(dǎo)體靶材市場相較全球市場增速更為明顯，處于較快發(fā)展階段。截止到2017年底，全球處于規(guī)劃或建設(shè)階段、預(yù)計于2017年至2020年間投產(chǎn)的62座半導(dǎo)體晶圓廠中，有26座設(shè)于中國，占全球總數(shù)的42%。預(yù)計2020年我國晶圓廠產(chǎn)能將達(dá)150萬片/月，這也將帶動國內(nèi)靶材市場需求大幅增加。同時，隨著國產(chǎn)濺射靶材技術(shù)的成熟，尤其是國產(chǎn)濺射靶材具備較高的性價比優(yōu)勢，并且符合濺射靶材國產(chǎn)化的政策導(dǎo)向，中國濺射靶材的市場規(guī)模和市場份額將進(jìn)一步擴大和提高。預(yù)計2020年中國半導(dǎo)體靶材市場規(guī)模達(dá)29.9億元。
高純?yōu)R射靶材是伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展而興起的，集成電路產(chǎn)業(yè)成為目前高純?yōu)R射靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一。濺射靶材是半導(dǎo)體行業(yè)必不可少的原材料，進(jìn)而廣泛地應(yīng)用于汽車電子、智能手機、平板電腦、家用電器、顯微鏡及等終端消費領(lǐng)域，因此，濺射靶材行業(yè)不易受到偶然性或突發(fā)性因素的影響，能夠充分分享下游產(chǎn)業(yè)應(yīng)用的廣闊市場。隨著終端應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴展和快速發(fā)展，強勁的消費需求有利于驅(qū)動濺射靶材市場不斷擴容，促進(jìn)技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)成熟。
國家產(chǎn)業(yè)政策支持
濺射靶材行業(yè)屬于國家重點鼓勵發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，由于長期依賴進(jìn)口，國內(nèi)客戶迫切希望濺射靶材能夠盡快實現(xiàn)國產(chǎn)化。為了促進(jìn)我國濺射靶材產(chǎn)業(yè)規(guī)模平穩(wěn)較快增長，技術(shù)創(chuàng)新能力增強，加速濺射靶材供應(yīng)本土化進(jìn)程，近年來，國家制定了一系列產(chǎn)業(yè)政策引導(dǎo)濺射靶材工業(yè)健康穩(wěn)定發(fā)展，同時，國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(簡稱“863計劃”)、國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造設(shè)備及成套工藝”專項基金(簡稱“02專項”)、發(fā)改委的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型產(chǎn)業(yè)化項目都有針對性地把濺射靶材的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化列為重點項目，從國家戰(zhàn)略高度扶植濺射靶材產(chǎn)業(yè)發(fā)展壯大，國家產(chǎn)業(yè)政策、研發(fā)專項基金的陸續(xù)發(fā)布和落實，為濺射靶材行業(yè)的快速發(fā)展?fàn)I造了良好的產(chǎn)業(yè)環(huán)境，將有力地引導(dǎo)濺射靶材產(chǎn)業(yè)持續(xù)健康發(fā)展，企業(yè)實力進(jìn)一步增強。
國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)一直受制于人，每年大量從海外進(jìn)口，進(jìn)口金額居所有進(jìn)口商品中第一位，超過市場上熟知的原油和鐵礦石等資源品。近年來，中興制裁事件與華為事件都給我們敲響警鐘，芯片等核心技術(shù)產(chǎn)業(yè)亟需發(fā)展，國產(chǎn)替代刻不容緩。作為半導(dǎo)體材料中的重要一環(huán)—濺射靶材同樣如此，國產(chǎn)化是必然之路也是唯一之路。
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