光刻機(jī)巨頭ASML尋求氖氣供應(yīng) 工業(yè)氣體龍頭上市公司市場份額

• 2022年3月1日 HuangJiang來源：新浪 816 50
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全球光刻機(jī)巨頭荷蘭的ASML公司正在緊急尋找烏克蘭以外的其他氖氣供應(yīng)來源。ASML一位發(fā)言人表示，烏克蘭是全球最大的氖氣生產(chǎn)國，氖氣是光刻氣中主要成分，俄烏沖突導(dǎo)致烏克蘭氖氣出口遭遇困境。

工業(yè)氣體被喻為工業(yè)的“血液”。工業(yè)氣體在國家標(biāo)準(zhǔn)《常用危險化學(xué)品的分類及標(biāo)志》(GB13690-1992)中，通常被劃為第2類壓縮氣體和液化氣體。這類化學(xué)品系指壓縮、液化或加壓溶解的氣體。氣體經(jīng)加壓或降低溫度，可以使氣體分子間的距離大大縮小而被壓入鋼瓶中，這種氣體稱為壓縮氣體(亦稱為永久氣體， 如氧氣、氮?dú)狻鍤?、氫氣?。

光刻機(jī)巨頭ASML尋求氖氣供應(yīng)

全球光刻機(jī)巨頭荷蘭的ASML公司正在緊急尋找烏克蘭以外的其他氖氣供應(yīng)來源。ASML一位發(fā)言人表示，烏克蘭是全球最大的氖氣生產(chǎn)國，氖氣是光刻氣中主要成分，俄烏沖突導(dǎo)致烏克蘭氖氣出口遭遇困境，工業(yè)氣體市場供需狀況如何？。

資料顯示，氦氖氬氪氙氡統(tǒng)稱為惰性氣體，在常溫常壓下，它們都是無色無味的單原子氣體，很難進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體微影制程。氖氣是光刻氣中主要成分。

在半導(dǎo)體制程當(dāng)中，氖氣可用于 KrF、ArF 鐳射曝光，在 ArF 準(zhǔn)分子激光器中使用的氬/氟/氖氣體中，氪氣同樣用于光刻制程，氙氣用于半導(dǎo)體刻蝕制程。

根據(jù)中研普華研究院《2022-2027年中國工業(yè)氣體行業(yè)市場調(diào)查分析與發(fā)展趨勢預(yù)測研究報告》顯示：

晶圓制造材料的占比中，以氖氣、氚氣等為代表的“電子特氣”，是僅次于硅片的第二耗材。以氖氣在光刻機(jī)中的應(yīng)用為例，在電離時，含氖的稀有混合氣體會發(fā)出一種特定波長和能量的激光，而這些激光，正是讓光刻機(jī)去除芯片表面光刻膠涂層，進(jìn)而在硅片表面繪制出特定電路圖的主要光束。

據(jù)介紹，在目前DUV光刻機(jī)主要采用的ArF激光器中，氖氣就占到了氣體混合物的96%以上?？梢哉f，如果沒有這種“電子特氣”，目前令整個半導(dǎo)體制造行業(yè)有價無市的光刻機(jī)，也將失去其獨(dú)特的魅力。而且，這還僅僅只是“電子特氣”的應(yīng)用之一，在涉及硅片制造、氧化、光刻、蝕刻等諸多環(huán)節(jié)，都有著不同的“電子特氣”身影。

氖氣價格行情及供應(yīng)份額調(diào)查

受國際局勢影響，氖氣價格強(qiáng)勢走高。據(jù)ifind數(shù)據(jù)顯示，截至2月23日，國內(nèi)市場氖氣價格報1650元/立方米，較年初漲幅達(dá)65%，較2021年10月低點已翻了四倍。稀有氣體價格集體大漲。

烏克蘭的氖氣(Ne)的全球供應(yīng)份額達(dá)70%，而氪氣(Kr)和氙氣(Xe)的全球供應(yīng)份額則分別達(dá)到40%和30%。此外，美國超過 90%的半導(dǎo)體級氖氣供應(yīng)來自烏克蘭(由俄羅斯生產(chǎn)，烏克蘭純化)。

另一方面，氪氣和氙氣年內(nèi)的漲幅也較為可觀。截至2月23日，氪氣價格年內(nèi)累計上漲39.24%，氙氣的價格年內(nèi)漲幅達(dá)27.27%。

除了ASML，臺積電、聯(lián)電、南亞科均透露，已增加關(guān)鍵氣體備貨量，同時提高供應(yīng)商多樣性，短期可避開地緣事件影響。其中，聯(lián)電已與氖氣供應(yīng)商泰實科技簽訂長約，提前鎖定產(chǎn)能、鎖定價格——公司也是首家提前以下手保證關(guān)鍵氣體供應(yīng)的晶圓代工廠。

工業(yè)氣體龍頭上市公司市場份額

對于特種氣體的公司來說，電子所用的特種氣體的平均毛利率能達(dá)到近50%，像是法國液化空氣的毛利率最高能達(dá)到60%+，而一般化工氣體或大宗氣體的毛利率也就是20-30%的水平。對比半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈來看，晶圓廠的盈利能力最強(qiáng)，尤其是以臺積電為首，毛利率高達(dá)53%， 半導(dǎo)體設(shè)備的毛利率也才僅有40%左右。

該行業(yè)主要的市場份額被海外龍頭壟斷，前五大廠商占據(jù)90%以上的市場份額，包括法國液化空氣、德國林德集團(tuán)、日本大陽日酸。這些海外巨頭都是以工業(yè)氣體起家，通過多次海外并購以及專利研發(fā)后，逐漸切入盈利能力更高的電子特氣業(yè)務(wù)。

目前國內(nèi)的市場格局較為分散，以小有規(guī)模的一些公司來看，廠商對于半導(dǎo)體沉積、刻蝕、摻雜等加工的環(huán)節(jié)著力點也不相同。還是因為氣體的種類太廣泛，且純度工藝要求非常高，國內(nèi)廠商的專利研發(fā)時間較海外龍頭相比還十分短暫，因此能夠涉及的品種和市場體量相對較小。

過往經(jīng)驗表明，2015年克里米亞危機(jī)之際，氖氣價格曾飆升10倍以上，達(dá)到每立方公尺3500美元的高價。此次俄烏沖突比當(dāng)年激烈程度更有過之，而且半導(dǎo)體需求規(guī)模較7年前大為增加，由此半導(dǎo)體市場受到的沖擊也更為明顯，導(dǎo)致本已“缺芯”的全球半導(dǎo)體供應(yīng)愈發(fā)雪上加霜皆屬市場的合理推測。

未來工業(yè)氣體行業(yè)市場投資前景如何?想要了解更多行業(yè)詳情分析，可以點擊查看中研普華研究報告《2022-2027年中國工業(yè)氣體行業(yè)市場調(diào)查分析與發(fā)展趨勢預(yù)測研究報告》。報告對行業(yè)相關(guān)各種因素進(jìn)行具體調(diào)查、研究、分析，洞察行業(yè)今后的發(fā)展方向、行業(yè)競爭格局的演變趨勢以及技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)、市場規(guī)模、潛在問題與行業(yè)發(fā)展的癥結(jié)所在，評估行業(yè)投資價值、效果效益程度，提出建設(shè)性意見建議，為行業(yè)投資決策者和企業(yè)經(jīng)營者提供參考依據(jù)。

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  本研究咨詢報告由中研普華咨詢公司領(lǐng)銜撰寫，在大量周密的市場調(diào)研基礎(chǔ)上，主要依據(jù)了國家統(tǒng)計局、國家商務(wù)部、國家發(fā)改委、國家經(jīng)濟(jì)信息中心、國務(wù)院發(fā)展研究中心、國家海關(guān)總署、全國商業(yè)信息...

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