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電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)現(xiàn)狀 電子束曝光系統(tǒng)市場分析

  • 2022年5月30日 ZhouJiaLiang來源:互聯(lián)網 491 26
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電子束曝光指使用電子束在表面上制造圖樣的工藝,是光刻技術的延伸應用。電子束曝光系統(tǒng)即用于實現(xiàn)電子束曝光的系統(tǒng)。電子束曝光指使用電子束在表面上制造圖樣的工藝,是光刻技術的延伸應用。

電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)現(xiàn)狀 電子束曝光系統(tǒng)市場分析

電子束曝光指使用電子束在表面上制造圖樣的工藝,是光刻技術的延伸應用。電子束曝光系統(tǒng)即用于實現(xiàn)電子束曝光的系統(tǒng)。電子束曝光指使用電子束在表面上制造圖樣的工藝,是光刻技術的延伸應用。

光刻技術的精度受到光子在波長尺度上的散射影響。使用的光波長越短,光刻能夠達到的精度越高。根據(jù)德布羅意的物質波理論,電子是一種波長極短的波。這樣,電子束曝光的精度可以達到納米量級,從而為制作納米線提供了很有用的工具。電子束曝光需要的時間長是它的一個主要缺點。為了解決這個問題,納米壓印術應運而生。

電子束曝光分辨率高、掩膜版制作容易、工藝容限大,而且生產效率高,但由于電子束在光刻膠膜內的散射,使得圖案的曝光劑量會受到臨近圖案曝光劑量的影響(即臨近效應),造成的結果是,顯影后,線寬有所變化或圖形畸變。雖然如此,限角度投影式電子束光刻仍是最具前景的非光學光刻。

隨著器件的特征尺寸不斷縮小,在掩模版制造中普遍采用電子束曝光和激光光刻設備,在這兩類設備中,電子束設備在性能和數(shù)量上均占優(yōu)勢。最先進的激光制版系統(tǒng),其束斑直徑在0.2μm左右,可以用來制作0.18μm,0.15μm生產線的掩模版,但對特征尺寸更小的器件的掩模,只能用電子束曝光系統(tǒng)來制作,特別是用于光學光刻中的銘版制造。

據(jù)不完全統(tǒng)計,截至2021年底,全球電子束曝光系統(tǒng)產能約為3564臺,產量約為3411臺,產能利用率約為95.71%。

據(jù)中研產業(yè)研究院報告《2022年全球與中國電子束曝光系統(tǒng)(EBL)市場深度研究分析報告》分析

近年來,中國電子束曝光系統(tǒng)的產量和產值都呈現(xiàn)出較快的增長態(tài)勢。據(jù)統(tǒng)計,2021年,中國電子束曝光系統(tǒng)的產量約為864臺,同比增長12.06%;產值約為6.82億美元,同比增長18.40%。

圖表:2018-2021年中國電子束曝光系統(tǒng)產量及產值情況

數(shù)據(jù)來源:中研普華產業(yè)研究院

據(jù)統(tǒng)計,2021年美國電子束曝光系統(tǒng)的產量約為268臺,較2020年增長了5.10%;產值約為2.29億美元,較2020年增長了6.02%。

圖表:2018-2021年美國電子束曝光系統(tǒng)產量和產值情況

數(shù)據(jù)來源:中研普華產業(yè)研究院

據(jù)統(tǒng)計,2021年歐洲電子束曝光系統(tǒng)的產量約為1364臺,較2020年增長了6.98%;產值約為14.14億美元,較2020年增長了12.67%。

圖表:2018-2021年歐洲電子束曝光系統(tǒng)產量及產值情況

數(shù)據(jù)來源:中研普華產業(yè)研究院

據(jù)統(tǒng)計,2021年日本電子束曝光系統(tǒng)的產量約為791臺,較2020年增長了2.06%;產值約為6.87億美元,較2020年增長了3.0%。

圖表:2018-2021年日本電子束曝光系統(tǒng)產量及產值情況

數(shù)據(jù)來源:中研普華產業(yè)研究院

想要了解更多電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)的發(fā)展前景,請查閱《2022年全球與中國電子束曝光系統(tǒng)(EBL)市場深度研究分析報告》。

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