2023中國電子特氣行業(yè)發(fā)展趨勢分析報告

• 黃文玉 2023年3月14日 來源：互聯(lián)網(wǎng) 793 48
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電子特種氣體(簡稱電子特氣)，是指用于半導體、平板顯示及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的特種氣體。

一、電子特氣的概念

電子特種氣體(簡稱電子特氣)，是指用于半導體、平板顯示及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的特種氣體。在整個半導體行業(yè)的生產(chǎn)過程中，從芯片生長到最后器件的封裝，幾乎每一個環(huán)節(jié)都離不開電子特氣，而且所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，所以電子氣體又有半導體材料的“糧食”之稱。

電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和相關的太陽能電池等高科技產(chǎn)業(yè)，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護氣氛等等。由于半導體和微電子技術向更高性能、更高集成度發(fā)展，對電子特氣的純度提出了越來越高的要求，電子特氣的的凈化愈加關鍵和重要。

根據(jù)中研普華產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2023-2028年中國電子特氣行業(yè)發(fā)展趨勢及投資預測報告》顯示：

電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產(chǎn)業(yè)，由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，為有別于其它領域應用的氣體，人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體，它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產(chǎn)業(yè)。電子特氣上游多為III(硼、鋁、鎵)、IV(碳、硅、鍺)、V(氮、磷、砷)族元素及鹵族元素(氟、氯)的基礎化工產(chǎn)業(yè)，下游在集成電路、面板、LED等領域的各個工藝環(huán)節(jié)均有多種用途。

電子氣體的應用領域主要在半導體集成電路生產(chǎn)制造、非晶硅太陽能電池、液晶顯示器件、光導纖維生產(chǎn)四大領域，其中主要應用于半導體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導體工業(yè)中應用的有110 余種單元特種氣體，其中常用的有20～30種。電子特種氣體的發(fā)展直接帶動高新技術產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

2021年全球電子特氣市場規(guī)模達46億美元，預計未來行業(yè)將保持在5%左右的增速，市場規(guī)模在2024年達到54億美元。近年來全球電子特氣市場保持平穩(wěn)增長。

二、電子特氣市場發(fā)展現(xiàn)狀

近幾年來，隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子特種氣體的國產(chǎn)化已是大勢所趨。目前我國在國產(chǎn)化方面取得可喜進展：國產(chǎn)高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局，高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結(jié)束，高純氯化氫已成功打開國內(nèi)市場。

2021年，電子特氣在集成電路中的應用占比達43%，其次為顯示面板，占比21%，LED和光伏分別占比13%，6%，主要應用環(huán)節(jié)包括離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等。目前國內(nèi)電子特氣第一梯隊的廠商已經(jīng)具備規(guī)模生產(chǎn)能力，在細分領域產(chǎn)品具有一定優(yōu)勢，但和國外龍頭企業(yè)相比還有較大差距，國產(chǎn)替代空間巨大。

電子特種氣體的研究開發(fā)和生產(chǎn)的專業(yè)化，有利于技術的改進和提高，有利于成本的降低，是提高電子元器件質(zhì)量的重要環(huán)節(jié)。實現(xiàn)真正意義上的規(guī)?；a(chǎn)，增加國內(nèi)和國際市場份額，為國家進行產(chǎn)業(yè)調(diào)整結(jié)構，建立完整的集成電路、光電子產(chǎn)業(yè)鏈，提高國際競爭力，具有重大意義。

國內(nèi)的超高純度凈化技術主要依賴進口，自身的技術水準(6N)與國際先進水平(8-9N)有較大差距。本項目將設計和研發(fā)一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑，對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應性氣體、腐蝕性氣體等5個系列，50多種電子特氣進行末端凈化，使電子特氣純度由ppm級提高到ppb、ppt級，并將特氣傳輸和控制系統(tǒng)對氣體純度的影響降至最小，從而極大地改善工藝能力，降低產(chǎn)品缺陷， 提高制程的產(chǎn)量，滿足下一代半導體、微電子以及相關高技術發(fā)展的需要。本項目將形成有自主知識產(chǎn)權的超高純度電子特氣凈化技術，解決超高純度電子特氣凈化這一核心技術的國產(chǎn)化問題。

三、電子特氣行業(yè)未來趨勢預測

集成電路是電子特氣主要下游應用，21年占比達43%。半導體產(chǎn)業(yè)是我國國民經(jīng)濟的基礎性和戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，政策加持下，打造“中國芯”、實現(xiàn)進口替代的緊迫性、重要性不斷加強。中國電子特氣2021年市場規(guī)模為167億元，預計2024年我國電子特氣市場規(guī)模將達到230億元，2020-2024年復合增速將達11.28%，增速高于全球。

電子特氣得到國家政策大力支持?！笆奈濉逼陂g，中國工業(yè)氣體、集成電路產(chǎn)能分布密集的東部地區(qū)基于自身區(qū)域產(chǎn)業(yè)發(fā)展提出相應的電子特氣行業(yè)發(fā)展規(guī)劃，其中如廣東、遼寧等地基于優(yōu)勢城市、區(qū)域產(chǎn)業(yè)群加大技術投入，拓展包括電子特氣在內(nèi)的工業(yè)氣體版圖;江蘇、浙江等集成電路產(chǎn)能密集省份則基于區(qū)域相關產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向，有針對性地發(fā)展相應電子特氣產(chǎn)業(yè)，提升集成電路產(chǎn)業(yè)化程度?？梢灶A見的是未來國產(chǎn)電子特氣市場未來將有較大增長空間。

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